倾角传感器的在线温度补偿

倾角传感器，也叫倾角仪，水平仪等，主要用于载体角度的测量和角度的调整，MEMS倾角传感器具有体积小、重量轻、低功耗、多功能等优点，在新能源、地质灾害、土木工程、工程机械，航空航天等行业中得到了广泛应用。

倾角传感器结构简单，使用方便，因而市面上也是层出不穷，百花齐放。但是，倾角传感器的使用过程中绕不开二个问题，其一是运动（震动）影响，其二是温度影响，

倾角传感器中，标称中精度（精度0.01°），其温度影响大概是0.003°/℃-0.005°/℃；标称高精度（精度0.005°-0.001°），其温度影响大概是0.0007°/℃-0.001°/℃。由以上数据可知，中精度倾角传感器温度变化3℃，其精度就被淹没，高精度倾角传感器温度变化2℃，其精度就被淹没。在使用倾角传感器的过程中，*温度变化10℃再正常不过，因而仅仅简单的谈论精度已然不合适。

由于工作环境温度的改变，就会导致测量精度的变化，特别是在一些高精度测量要求下，则失去其测量的效果，所以须采取相应措施来消除或者减小随温度变化而引起的误差，即须对传感器进行温度补偿。

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