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MEMS 加速度传感器
310M/320M/330M系列MEMS加速度传感器，采用变电容原理，当敏感元件受到加速度作用产生偏移，引起电容成比例变化；该传感器MEMS敏感元件具有良好的低频和直流响应特性，体积小、重量轻、全密封、壳体可靠隔离，特别适合于分析低频振动或线加速度运动。
可提供±2g到±200g各量程MEMS传感器；输出方式、量程及频响范围有要求请联系我们。
技术参数
| 型号 | 310M02 320M02 330M02 |
310M02J 320M02J 330M02J |
310M05 320M05 330M05 |
310M05J 320M05J 330M05J |
310M10J 320M10J 330M10J |
310M20 320M20 330M20 |
310M50J 320M50J 330M50J |
310M12J 320M12J 330M12J |
310M22J 320M22J 330M22J |
| 灵敏度（mV/g） | 1000 | 1000 | 300 | 300 | 200 | 100 | 40 | 20 | 10 |
| 量程（g pk） | ±2 | ±2 | ±5 | ±5 | ±10 | ±20 | ±50 | ±100 | ±200 |
| 频响 (±5%)(Hz) | 0～200 | 0～150 | 0～200 | 0～150 | 0～400 | 0～300 | 0～800 | 0～800 | 0～1000 |
| 分辨力（mg rms） | 2 | 0.1 | 3 | 0.3 | 0.8 | 6 | 2.5 | 5 | 10 |
| 型号 |
310M 系列 单轴 | 320M 系列 双轴 | 330M 系列 三轴 | |||
| 通用型 | 精密型（后缀J） | 通用型 | 精密型（后缀J） | 通用型 | 精密型（后缀J） | |
| 输出方式 | 单端 | 单端 | 单端 | |||
| 过载冲击 | ±3.000g | ±5,000g | ±3.000g | ±5,000g | ±3.000g | ±5,000g |
| 激励电压 | +9～+15VDC | +9～+15VDC | +9～+15VDC | |||
| 温度范围 | -40～+85℃ | -40～+85℃ | -40～+85℃ | |||
| 输出接头 | 整体线缆3m（4芯） | 整体线缆3m（5芯） | 整体线缆3m（5芯） | |||
| 外壳材料 | 钛合金 | 钛合金 | 钛合金 | |||
| 密封 | 焊接 | 焊接 | 焊接 | |||
| 重量 | 17克 | 20克 | 25克（不含电缆） | |||
| 尺寸（mm） | 21.5×21.5×10.5 | 24×24×15 | 28×28×20 | |||
| 安装方式 | 2-Φ3（通孔） | 2-Φ3（通孔） | ||||
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